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硅粉设备

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本发明适用于化学合成技术领域,提供了一种硅粉的制备设备,所述设备包括反应腔室、射频电源、抽真空系统、喷淋电极及传送带衬底机构。本发明采用等离子体增强化学气相沉。

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